“浸润法是通过窜改光的折射来达到更短光波的目标对吧？”曹阳问到。
现在是2006年，在光刻机范畴当中，东岛的尼康才是老迈，而将来的光刻机王者阿斯麦Amsl还没有崛起，第一台EUV光刻秘密到2012年才气出产出来。
因为这类技术他在宿世都没如何传闻过。
现在不但中国没有，外洋也没有，要到2012年ASML收买Cymer这家顶级光源公司以后，光波波是非到13.5nm的极紫外稳定光源才会呈现。
“另有一种，”张如京明天有些镇静，笑着持续说到，“浸润式技术，在光刻机投影物镜最后一个透镜的下大要与硅片上的光刻胶之间添补高折射率的液体。
“是啊，现在海内连稳定的深紫外光都造不出来，去那里弄那么短波长的光源啊？”倪传授也跟着说。
曹阳只是笑了笑，没有再持续这个话题，等他真的能找到处理计划，再拉上大佬们一起结合研发，感受是比较可行的。
说到这里，张如京思虑了一下，“这就相称于大师都是雕镂人，利用的东西都是差未几的，最后做出来的产品格量吵嘴，紧密度……靠的就是技术程度的凹凸了。
但是，在上一次的和解和谈当中，台积电和中芯国际就已经明白了两边的好处互换以及相互的专利受权内容，这个时候还被紧咬着不放，除了一部分台积电对张如京的恩仇以外，幕后没有一只黑手在操控，曹阳是不信的。
以是根基上张如京不分开中芯国际，台积电是不会善罢甘休的。
嗯……
张如京摇了点头，“不可的，因为之前IBM已经研讨过了，X光波对于现在深紫外光来讲波长更短，但是在这类环境下，水介质对于X光的折射结果很差，当光达到必然的波长之下，水对于它们来讲就不是完整透明的了，就会产生遮挡和噪影，这是没有体例处理的事情。”
都已经投入了几十上百亿美圆的研发资金了，俄然被人质疑。
曹阳不但愿这一世还是这么一个结束，以是故意想要拉张如京一把。
即便今后张如京真的要退了，那么国度也会想尽统统体例包管中芯国际的安定生长的。
“不是，我的意义是，不采取浸润光刻技术，而是干式光刻，但是将光波长收缩到两位数。”曹阳说。
以是张如京愣了一下，笑了起来，“如果真的有这类光源的话，我们能出产出个位数纳米级的芯片。”
以是现在也是在摸着石头过河的阶段。
想要出产下一代45纳米的芯片，就目前的设备来看，我们能做的，就是进步技术，起码在来岁我们能够冲破60纳米吧。”
在这项技术呈现之前，天下在微影范畴的老迈但是东岛的尼康，当时林本间提出来浸入式技术的可行性的时候，相称于打了尼康和IBM一众天下级大佬们的脸。
张如京完整分开中芯国际，由帮手邱慈云担负ceo今后，中芯国际才稍有好转。
……
巨擘的陨落，老是如出一辙。当年柯达最早出产出来了数码拍照机，但是柯达却因为惊骇数码相机威胁到本身的胶片停业，做出决定——必然要藏好，不能让别人晓得。
如果想要实现技术上的冲破，超越台积电的话，还得从光刻机本身停止冲破。但是我们国度目前为止，并没有能够独立出产光刻机的企业，精确来讲是没有独立出产193纳米，乃至更短波段的光刻机程度。