当时候来到下午四点半的时候。
苏扬笑道:“行了,你们也别如许看我,是真是假,我嘴上说了也没用,调集职员停止一次尝试,不就一目了然了?安总,工厂内应当是有光刻胶和硅片的吧?”
说着,安正国立即调集人手,搬来呼应的半导体质料。
“所采取的光是13.5nm的软X射线,也就是极紫外光作为光源。”
当然,这内里也有一些员工方才打仗新设备,操纵不顺手的身分。
“是啊,暴光波长一下子降到13.5nm,这岂不是意味着……它能够把光刻技术扩大到32nm以下的特性尺寸了!!!”
作为半导体制造业皇冠上的明珠,光刻机的意义不言而喻。
现场蓦地变得一片沉寂。
所谓蚀刻,便是通过化学或物理的体例,有挑选地从硅片大要,撤除不需求质料的过程。
但看到半导体公司的人,一个个都瞠目结舌,傻了似的,又感觉boss的话不明觉厉。
“不对,我之前看过一篇学术陈述,EUV光刻技术的真正范畴,是32nm,不,是22nm以下的范畴!”
而在IC制造中,光刻又是半导体芯片出产流程中最庞大、最关头的工艺步调,耗时长、本钱高。
是以,也不怪几个搞半导体的家伙,像是痴・汉一样看着他。
普通的光刻步调,有气相成底膜、扭转涂胶、软烘、暴光、显影、坚膜。
完成以后,就能通过特定溶剂,洗去硅片大要残存的光刻胶了。
“这是一个冲破,了不起的冲破,如果我们把这里产生的事情,宣布出去,足以震惊全部中原,乃至是中心都要被轰动!”
固然60nm芯片的量产,和45nm芯片的量产,另有必然的差异。
“苏总,这到底是真是假啊!”
光刻的道理,实际上非常简朴。
从开端光刻,到最后洗去残存的光刻胶,几个步调,就足足花了三个多小时。
几名远扬半导体的高层,一个个都红着眼眶,把目光不竭在苏扬和光刻机的身上盘桓。
长久的沉寂以后,便是一片哗然,安正国等七人群情纷繁。
安正国一愣,赶紧道:“有,都储存着呢,我顿时找人来停止尝试。”
被光芒晖映到的光刻胶,会产生反应。
芯片在出产中需求停止20-30次的光刻,耗时占到IC出产环节的50%摆布,占芯片出产本钱的三分之一。
“当然,最首要的还是这台光刻机的光源,并非是目前国际海内风行的深紫外光。”
以是,光刻的工艺程度,常常直接决定了芯片的制程程度和机能程度。
别的,商城挂着的inter酷睿系列,也有45nm――14nm芯片的工艺技术。
这一过程,目前只能通过光刻,才气最有效地实现。
苏扬看了半秒刘元龙,道:“这些设备,的确是最新的半导体核心设备,特别是光刻机。”
车间内,一片欣喜和欢娱的气象。
“60nm的电路图,竟然真的被我们转移到了硅片上。”
“是啊,而我们现在,却具有了一台能够量产60nm芯片的光刻机,如果操纵谙练了,速率提上去,再停止瓜代光刻,一天起码能够造上数百片12寸的圆晶啊!”
“苏总,您别不是在逗我们高兴啊,现在环球范围内,绝对没有任何一家半导体公司,能造出如许的设备!”